高速精密貼裝設備 精密運動平台 精密運動組件

産品由直線電機驅動,可實現鏡頭的(de)迅速轉換,相鄰物鏡切換時(shí)間僅0.2s。采用數字伺服控制及高精度光栅反饋,重複定位精度可達±0.1μm。産品可用于(yú)自動對焦系統,廣泛應用于(yú)顯示面闆、半導體、PCB、生物醫療等亞微米級高精度檢測領域。

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