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技術指标 |
數據 |
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有效行程 |
X軸:300mm Y軸:300mm |
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最大(dà)速度 |
X軸:1000mm/s Y軸:1000mm/s |
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最大(dà)加速度 |
X軸:0.6G Y軸:0.6G |
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重複定位精度 |
X軸:±0.5μm Y軸:±1μm θ軸：±2arcsec |
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直線度 |
X軸:±4μm Y軸:±4μm |
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行走平面度 |
X軸:±5μm Y軸:±4μm |
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XY正交度 |
±5μm |
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最大(dà)負載 |
10kg |
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光栅尺分辨率 |
0.1μm |
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13655559489 （孫經理）