高速精密貼裝設備 精密運動平台 精密運動組件

産品解決了(le/liǎo)高精度定位及運動控制系統設計關鍵技術問題,實現最大(dà)速度≥450 mm/s,平均加速度≥0.6G,單軸重複定位精度≤±1μm(可達±100nm)。能廣泛應用于(yú)裝備制造、無損檢測、芯片檢測、AOI檢測、晶圓切割、3C電子(zǐ)封裝等高精尖領域,爲(wéi / wèi)相關産業提供強有力的(de)技術支撐和(hé / huò)定制化國(guó)産替代解決方案。本産品被評爲(wéi / wèi)安徽省首台套重大(dà)技術裝備。

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