技術指标 |
數據 |
有效行程 |
X軸:350mm Y軸:350mm |
最大(dà)速度 |
X軸:1000mm/s Y軸:1000mm/s |
速度穩定性 |
X軸:±1‰@300mm/s Y軸:1‰@300mm/s |
最大(dà)加速度 |
X軸:1G Y軸:1G |
重複定位精度 |
X軸:±0.3μm Y軸:±0.3μm θ軸:±1.5arcsec |
絕對定位精度 |
X軸:±0.5μm Y軸:±0.5μm θ軸:±10arcsec |
整定時(shí)間 |
X軸:50ms@±1μm/1G Y軸:60ms@±1μm/1G |
直線度 |
X軸:±2μm Y軸:±2μm |
行走平面度 |
X軸:±3μm Y軸:±3μm |
XY正交度 |
±3μm |
最大(dà)負載 |
10kg |
光栅尺分辨率 |
0.1μm |