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三軸直驅定位平台

重複定位精度 ±0.3μm

速度穩定性 ±1‰@300mm/s

高動态響應特性

低靜态抖動

快速整定

支持非标定制

|  産品詳情

技術指标

 數據

有效行程

X軸:350mm   Y軸:350mm

最大(dà)速度

X軸:1000mm/s   Y軸:1000mm/s

速度穩定性

X軸:±1‰@300mm/s   Y軸:1‰@300mm/s  

最大(dà)加速度 

X軸:1G   Y軸:1G

重複定位精度

X軸:±0.3μm   Y軸:±0.3μm   θ軸:±1.5arcsec

絕對定位精度

X軸:±0.5μm   Y軸:±0.5μm   θ軸:±10arcsec

整定時(shí)間

X軸:50ms@±1μm/1G   Y軸:60ms@±1μm/1G

直線度

X軸:±2μm   Y軸:±2μm

行走平面度

X軸:±3μm   Y軸:±3μm

XY正交度 

±3μm

最大(dà)負載

10kg

光栅尺分辨率

0.1μm

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