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咨詢地(dì / de)址：合肥市高新區燕子(zǐ)河路388号億智科技産業園1棟2F
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技術指标 |
數據 |
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最大(dà)速度 |
500mm/s |
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最大(dà)加速度 |
1G |
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重複定位精度 |
≤±1μm |
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定位精度（補償後） |
≤±1.5μm |
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直線度 |
≤5μm |
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垂直度 |
≤8μm |
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光栅尺分辨率 |
0.1μm |
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13655559489 （孫經理）